筑波大学オープンファシリティ連携ネットワーク推進機構

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写真	部署 △ ▽	カテゴリ △ ▽	機器名（委託内容） △ ▽	メーカー △ ▽	利用単価	委託単価 △ ▽
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIパッケージ組立装置	(ARIM)パッケージング　(ワイヤ・エポキシダイボンダ)	West BOND	940円 / 30 分	-
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電気特性評価装置	(ARIM)パワーデバイス特性評価装置 B1505A	Agilent Technologies, Inc. B1505A	820円 / 30 分	7,200円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)マスクアライナー Q 2001CT	Neutronix-Quintel (Q 2001CT)	220円 / 30 分	6,000円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	光分析装置	(ARIM)光電子分光装置(XPS)	日本電子 (JPS-9010TR)	1,160円 / 30 分	8,000円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)分光エリプソメータ	HORIBA (UVISEL PLUS)	750円 / 30 分	7,200円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電気特性評価装置	(ARIM)半導体特性評価システム B1500A	Agilent (B1500A)	510円 / 30 分	6,600円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)反応性エッチング装置 RIE-10NR	サムコ (RIE-10NR)	930円 / 30 分	7,400円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	光分析装置	(ARIM)多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS/UPS)	アルバック・ファイ (PHI VersaProbe 4)	2,370円 / 30 分	10,400円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)小型イオンシャワー	伯東　(10IBE-EPD_UoT-Y)	1,130円 / 30 分	7,800円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)触針式表面段差計 Alpha-Step D-500	KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500)	210円 / 30 分	6,000円 / 1 時間

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