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利用できる機器/委託

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一般向け共同利用

一般向け委託対応

　

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写真	部署 △ ▽	カテゴリ △ ▽	機器名（委託内容） △ ▽	メーカー △ ▽	利用単価	委託単価 △ ▽
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	シミュレータ	(ARIM)デバイスシミュレーター	SILVACO (ATHENA/ATLAS)	860円 / 30 分	7,400円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)パターン投影リソグラフィシステム	Heidelberg Instruments (μPG501)	530円 / 30 分	6,600円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIパッケージ組立装置	(ARIM)パッケージング　(ワイヤ・エポキシダイボンダ)	West BOND	940円 / 30 分	-
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)マスクアライナー Q 2001CT	Neutronix-Quintel (Q 2001CT)	220円 / 30 分	6,000円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電磁気分析装置	(ARIM)顕微ラマン装置 NRS-5100	日本分光 (NRS-5100)	1,300円 / 30 分	-
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)触針式表面段差計 Alpha-Step D-500	KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500)	210円 / 30 分	6,000円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM) Dimension Icon	Bruker (Dimension Icon)	1,740円 / 30 分	9,000円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電子顕微鏡	(ARIM)電界放出型走査電子顕微鏡　(委託観察対応機器) SU-8020	日立ハイテク (SU-8020)	1,780円 / 30 分	9,200円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)電子線蒸着装置 EB-350T	エイコー (EB-350T)	1,540円 / 30 分	8,800円 / 1 時間
	数理物質系マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSI微細加工露光装置	(ARIM)電子線描画装置 ELS-750EX	ELIONIX (ELS-7500EX)	1,680円 / 30 分	9,000円 / 1 時間

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