筑波大学オープンファシリティ連携ネットワーク推進機構

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写真	部署 △ ▽	カテゴリ △ ▽	機器名（委託内容） △ ▽	メーカー △ ▽	利用単価	委託単価 △ ▽
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	シミュレータ	(ARIM)デバイスシミュレーター	SILVACO (ATHENA/ATLAS)	860円 / 30 分	7,400円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)反応性エッチング装置 RIE-10NR	サムコ (RIE-10NR)	930円 / 30 分	7,400円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電気特性評価装置	(ARIM)パワーデバイス特性評価装置 B1505A	Agilent Technologies, Inc. B1505A	820円 / 30 分	7,200円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)分光エリプソメータ	HORIBA (UVISEL PLUS)	750円 / 30 分	7,200円 / 1 時間
	数理物質系	専用測定装置	(パワエレ共用)超高温炉 SR1800TS	THERMO RIKO CO., LTD. SR1800TS	1,650円 / 30 分	7,000円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIパッケージ組立装置	(ARIM)ウェーハーダイシングマシン DAD322	DISCO (DAD322)	650円 / 30 分	7,000円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	LSIプロセス装置	(ARIM)パターン投影リソグラフィシステム	Heidelberg Instruments (μPG501)	530円 / 30 分	6,600円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	電気特性評価装置	(ARIM)半導体特性評価システム B1500A	Agilent (B1500A)	510円 / 30 分	6,600円 / 1 時間
	研究基盤総合センター 分析部門	電磁気分析装置	電子プローブマイクロアナライザ（EPMA)	JEOL社製 JXA-8530F Electron Probe Micro Analyzer	2,170円 / 30 分	6,410円 / 1 時間
	数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）	専用測定装置	(ARIM)データ解析用PC	ULVAC-PHI, HORIBA	250円 / 30 分	6,200円 / 1 時間

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