機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | イノベイティブ計測技術開発研究センター R&D Center for Innovative Material Characterization (IMC) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | オートファインコーター JFC-1600 JFC-1600 AUTO FINE COATER |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 日本電子 JFC-1600 JEOL JFC-1600 |
仕様・特徴 Specification・Features |
主に走査電子顕微鏡の試料作製機器として、非導電性試料へのAuコーティングを短時間で行うことができる。また、アルゴンガスバージ機能を内蔵しており、効率の良いスパッタリングができる。 [スパッタリング方式] マグネトロン型 [使用圧力] 20Pa以下 [ターゲット] Au [試料台] 直径64mm [タイマ]デジタル表示（1～300 秒） 1ラン：コーティング時間を100秒（50nm/30mA）以内とする。 設置年月日 2006.4.01 Mainly used as a sample preparation device for scanning electron microscopes, it can coat non-conductive samples with Au in a short time. It also has a built-in argon gas barge function, allowing for efficient sputtering. [Sputtering method] Magnetron type [Working pressure] 20Pa or less [Target] Au [Sample stage] Diameter 64mm [Timer] Digital display (1 to 300 seconds) 1 run: Coating time should be within 100 seconds (50nm/30mA). |
| 設置場所 Installation site | プロジェクト研究棟407室 Project and Research Building 407 |
| 備考 Remark |
1ラン：コーティング時間を100秒（50nm/30mA）以内とします。 共同利用に関しては、別途ご相談ください。 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：野木 所属：イノベイティブ計測技術開発研究センター |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
6,020 円 Yen / ラン run |
| 写真 Picture |
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