機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 光分析装置 Spectrophotometers |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS/UPS) (ARIM)Photoemission Spectrometer(XPS/UPS) VersaProbe4 |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | アルバック・ファイ (PHI VersaProbe 4) ULVAC-PHI (PHI VersaProbe 4) |
仕様・特徴 Specification・Features |
微小領域分析が可能な光電子分光装置（XPS / UPS）。 ◆主な特長 ・ 走査型マイクロフォーカスＸ線源による微小領域分析（最小分析領域10μm） ・ 低エネルギー電子とイオンの同時照射による帯電中和機構 ・ 同一分析点におけるXPS/UPS測定 ◆主な仕様 ・ ビーム径(XPS)： 10～100 μｍ ※UPSはφ3~4 mm ・ 最高エネルギー分解能： 0.5eV以下 (Ag3d 5/2) ・ 最大感度： 1,000,000cps (Ag3d5/2, FWHM 1.0eV) ◆オプション機能 ・ 低エネルギー逆光電子分光法（LEIPS） ・ 反射電子エネルギー損失分光法（REELS） ・ アルゴンガスクラスターイオン銃（Ar-GCIB） ・ 試料加熱機構 ・ トランスファーベッセル This machine is a photoelectron spectrometer (XPS/UPS) capable of micro-area analysis. ◆ Main features ・ Micro-area analysis by scanning micro-focus X-ray source (minimum analysis area is 10 μm) ・ Charge neutralization mechanism by simultaneous irradiation of low-energy electrons and ions ・ XPS/UPS measurements at the same analysis point ◆ Main specifications ・ Beam diameter (XPS): 10-100 μm *UPS is 3-4 mm ・ Highest energy resolution: 0.5 eV or less (Ag3d 5/2) ・ Maximum sensitivity: 1,000,000 cps (Ag3d5/2, FWHM 1.0 eV) ◆ Optional functions ・ Low energy inverse photoelectron spectroscopy (LEIPS) ・ Reflection electron energy loss spectroscopy (REELS) ・ Argon gas cluster ion gun (Ar-GCIB) ・ Heating sample holder ・ Transfer vessel |
| 設置場所 Installation site | 総合研究棟B 0022室 Laboratory of Advanced Research B0022 |
| 備考 Remark |
※粉体試料の測定禁止 ※本学のX線作業者講習会の受講が必要 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 2,370 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
10,400 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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