機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)小型イオンシャワー (ARIM)Small Ion Shower |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 伯東 (10IBE-EPD_UoT-Y) Hakuto (10IBE-EPD_UoT-Y) |
仕様・特徴 Specification・Features |
イオンミリングによる薄膜加工 終点材料の検出， 絶縁体，半導体，金属，磁性体等の薄膜加工 [ビーム電源] 出力:100 V ~ 1400 V DC 電流範囲: 30 mA ~ 200 mA [終点検出装置] SIMS型四重極質量分析計終点検出装置 Ion Milling System with an end-point detector Ion Source Voltage:100～1400 V DC Current:30 mA～200 mA |
| 設置場所 Installation site | 総合研究棟B0022室 Laboratory of Advanced Research B0022 |
| 備考 Remark |
月～金曜日 9:00～17：00 利用講習の事前受講と認定が必要。 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
|
利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 1,130 円 / 30分 |
|
委託単価
University-wide Job Request Rate |
7,800 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
|
