機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)分光エリプソメータ (ARIM)Spectroscopic Ellipsometry |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | HORIBA (UVISEL PLUS) HORIBA (UVISEL PLUS) |
仕様・特徴 Specification・Features |
PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター 測定波長：190～2100 nm（波長分解能力：2 nm) スポットサイズ：0.05, 0.1, 1mmφ（垂直入射時)を選択 |
| 設置場所 Installation site | 総合研究棟B0022室 Laboratory of Advanced Research B0022 |
| 備考 Remark |
月～金曜日 9:00～17：00 利用講習の事前受講と認定が必要。 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 750 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
7,200 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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