機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)イオンミリング装置 (ARIM)Ion Milling System |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 日立ハイテク（IM4000PLUS） HITACHI Hitachi High-Technologies（IM4000PLUS） |
仕様・特徴 Specification・Features |
本装置は、断面ミリングと平面ミリングに対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置である。これにより、試料内部構造観察や各種分析など、さまざまな評価目的に応じた試料作製が可能となる。 主な仕様 ＜断面ミリングホルダ＞ 使用ガス：Ar（アルゴン）ガス 加速電圧：0～6ｋV 最大ミリングレート（材料Si）：500μm/hr以上 最大試料サイズ：20（W）×12（D）×7（H）mm 試料移動範囲：X ±7mm 、 Y 0～＋3mm ＜平面ミリングホルダ＞ 使用ガス：Ar（アルゴン）ガス 加速電圧：0～6ｋV 最大試料サイズ：Φ50 × 25（H） mm 試料移動範囲：X 0～＋5mm The IM4000Plus Series Ion-Milling Systems are the second-generation of IM4000 series hybrid instruments that support Cross-Section Milling and Flatmilling. A wide variety of system configurations are available: Standard, Cooling, Air Protection, and Cooling & Air Protection. Primary specification ＜Flat milling folder＞ Gas：Argon gas Accelerating voltage：0～6ｋV Maximum milling rate（Material：Si）：500μm/hr以上 Maximum sample size：20（W）×12（D）×7（H）mm Sample stage traverse：X ±7mm 、 Y 0～＋3mm ＜Flatmilling folder＞ Gas：Argon gas Accelerating voltage：0～6ｋV Maximum sample size：Φ50 × 25（H） mm Sample stage traverse：X 0～＋5mm |
| 設置場所 Installation site | プロジェクト研究棟 104室 Project and Research Building |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：関口 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 1,310 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
8,200 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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