機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)IRエミッション顕微鏡 THEMOS-1000 (ARIM)Thermal Emission Microscope THEMOS-1000 |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | Toki Commercial Co., Ltd. THEMOS-1000 Toki Commercial Co., Ltd. THEMOS-1000 |
仕様・特徴 Specification・Features |
特徴 ・ 半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。赤外線画像の観測により、発熱分布（温度分布）の検出や、電流リーク箇所の同定が行えます。 ・ InSbHRカメラが搭載されており裏面観察時においても高解像度・高コントラストで細部に渡ってクリアなパターン像を得ることが可能です。 ・ 発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測できます。 仕様 検出波長：3.7μm～5.1μm、最大視野：3cm x 2cm、最小視野：0.7mm x 0.7mm、最小空間分解能：2.8μm、雑音等価温度差：25mK、時間分解能：3μsec. 取得年月日 2014.3.26 [Features of the apparatus] ・ The THEMOS (thermal emission microscope) is semiconductor failure analysis system that pinpoints failures by detecting thermal emissions generated within the semiconductor device. By observing the infrared image, it is possible to detect the heat generation distribution (temperature distribution) and to identify the current leak location. ・ The InSbHR camera is installed and it is possible to obtain a clear pattern image over details with high resolution and high contrast even when the backside observation. ・ By measuring the time dependence of the heat generation distribution, the temporal spread of temperature can be observed. [specification] ・ Detection sensitivity : 3.7μm - 5.1, Maximum field of view : 3cm x 2cm, Minimum field of view : 0.7mm x 0.7mm, Spatial resolution : 2.8μm, Noise equivalent temperature difference (NETD) : 25mK, Time resolution : 3μsec. Date of acquisition : 26th Mach 2014 |
| 設置場所 Installation site | 総合研究棟B0022室 Laboratory of Advanced Research B0022 |
| 備考 Remark |
・本装置の利用は、講習を受講された方に限らせて頂きます。（講習を受講される場合は、別途講習料が必要となります。） パワーデバイスアナライザー（B1505A）をご使用の方は併せてご予約下さい。 ・利用日の２ヶ月前から予約できます。 ・消耗品・試薬等は各自でご準備下さい。 ・ 初めて利用を検討される方はまず，「利用相談」にてお問い合わせ下さい。担当スタッフより回答いたします。 ・ パワエレ共用機器室を利用するには、総合研究棟B 0022室に入室するためのICカードが必要です。機器をご利用の際は、担当者にお申し出ください。 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：磯部 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 2,060 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
9,800 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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