機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | LSIプロセス装置 LSI Process Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)[委託] FIB－SEM Helios Nanolab 600i (ARIM)[Job Request] Forcused Ion beam - Scanning Electron Microscope Helios Nanolab 600i |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | FEI (Helios Nanolab 600i) FEI (Helios Nanolab 600i) |
仕様・特徴 Specification・Features |
電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。 加速電圧：50-30kV（電子ビーム） 500-30kV（Gaイオンビーム） デポジション用ガス：C,Ptガス TEM sample fabrication using two kinds of ion sources. Continuous SEM observation during TEM sample fabrication by the ion irradiation in the same chamber. Acceleration voltage; 50-30 kV (electron beam), 500-30 kV (Ga ion beam) Gas for deposition; C, Pt |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
17,000 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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