機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
＜利用上の注意事項＞
【注意】12:15 ～ 13:15はスタッフのお昼休みの為、搬送作業は行えません。
2020. 6. 24
現在、装置利用可能となっております。
直近14日間、平熱が保たれ風邪症状がない方のみ、入室を許可をします。
実験室では、必ずマスクを着用してください。
入室前後で手洗いと手の消毒をしてください。
何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
予約時間は、事前に相談窓口担当者と調整の上お願いします。
観察のできないサンプル
①磁性体
②真空を劣化させる、揮発性物質を含む物質
観察前に相談が必要なサンプル
③真空中で拡散する粉体
④生体試料（細胞・組織レベル）
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 電子顕微鏡 Electron Microscopes |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)電界放出型走査電子顕微鏡 (委託観察対応機器) SU-8020 (ARIM)Field-Emission Scanning Electron Microscope SU-8020 |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 日立ハイテク (SU-8020) Hitachi High-Technologies SU-8020 |
仕様・特徴 Specification・Features |
ナノ加工・構造・材料の観察・計測 ３つの二次電子検出器を搭載 二次電子分解能；1.0nm(加速電圧15kV,WD=4mm) 1.3nm(照射電圧1kV,WD=1.5mm) 照射電圧；0.1～30kV 低倍率モード；20～2,000倍(写真倍率) 高倍率モード；100～800,000倍(写真倍率) SE/BSE信号可変方式 *分析機能はありません。 Observation and measurement of nano-processing, nano-structure, nano-materials. It is equipped with three secondary electron detectors. Secondary electron resolution; 1.0 nm (Acceleration voltage 15 kV, WD=4 mm) 1.3 nm (Illumination voltage 1 kV, WD=1.5 mm) Illumination voltage; 0.1-30 kV Low-power mode; 20-2000 times (photograph magnification) High-power mode; 100-800,000 times (photograph magnification) SE/BSE signal variable system |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 1,780 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
9,200 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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