機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)触針式表面段差計 Alpha-Step D-500 (ARIM)Stylus Profilemeter Alpha-Step D-500 |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500) KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500) |
仕様・特徴 Specification・Features |
接触型段差測定器 測定長さ; 30 mm サンプルステージ直径; 140 mm サンプル厚さ(最大); 20 mm 垂直測定レンジ（最大）；1200 μm 垂直測定分解能；0.038 nm (2.5 μm Range) 観察倍率；×1, ×1.3, ×2, ×4 3D計測機能はありません Stylus Type Step Profiler Scan lengths; 30 mm Diameter of sample stage; 140 mm Maximum sample thickness: 20 mm Highest vertical range; 1200 μm Vertical measurement resolution; 0.038 nm (2.5 μm Range) Observation magnification; ×1, ×1.3, ×2, ×4 |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 301室 Cooperative Research Building C 301 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 210 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
6,000 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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