機器(委託対応)の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
機器情報(対応情報) Equipment and Job Request Information | |
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部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM) Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
カテゴリー Category | 専用測定装置 Limited Purpose Equipment |
機器名(委託内容) Equipment (Job Request) | (ARIM)触針式表面段差計 Alpha-Step D-500 (ARIM)Stylus Profilemeter Alpha-Step D-500 |
メーカー(型式) Supplier (Equipment type) | KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500) KLA-TENCOR (Alpha-Step D-500) |
仕様・特徴 Specification・Features |
接触型段差測定器 測定長さ; 30 mm サンプルステージ直径; 140 mm サンプル厚さ(最大); 20 mm 垂直測定レンジ(最大);1200 μm 垂直測定分解能;0.038 nm (2.5 μm Range) 観察倍率;×1, ×1.3, ×2, ×4 3D計測機能はありません Stylus Type Step Profiler Scan lengths; 30 mm Diameter of sample stage; 140 mm Maximum sample thickness: 20 mm Highest vertical range; 1200 μm Vertical measurement resolution; 0.038 nm (2.5 μm Range) Observation magnification; ×1, ×1.3, ×2, ×4 |
設置場所 Installation site | 共同研究棟C 301室 Cooperative Research Building C 301 |
備考 Remark | |
主な研究成果 Research Accomplishment | |
相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
機器担当者 |
担当者:ARIMスタッフ 所属:数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM) |
利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 210 円 / 30分 |
委託単価
University-wide Job Request Rate |
6,000 円 Yen / 時間 hr. |
写真 Picture |