機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
＜利用上の注意事項＞
新型コロナウイルス感染拡大の対策として、2020/4/20から当面利用停止いたします。何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | LSIプロセス装置 LSI Process Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)マスクアライナー Q 2001CT （ARIM）Mask aligner Q 2001CT |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | Neutronix-Quintel (Q 2001CT) Neutronix-Quintel (Q 2001CT) |
仕様・特徴 Specification・Features |
2.5インチマスクを使用するコンタクトアライナー マスク-ウエハ間隔；0-180μm 基板；1cm角～４インチφ マスク；2.5インチ角、5インチ角 光源；200W水銀ランプ(350~450nm) 解像度；0.6～1.0μm マニュアルアライメント；1.0μm 照度分布；≦5％＠3.5インチφ Contact aligner using a 2.5 inche-square mask Interval between mask and wafer; 0-180μm Sample size; 1cm square to 4 inches in diameter Mask size; 2.5 inche- or 5 inche-square Light source; 200 W mercury lamp (350~450 nm) Resolution; 0.6-1.0μm Manual alignment; 1.0μm Illuminance distribution, <= 5%@3.5 inch φ |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 220 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
6,000 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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