機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
＜利用上の注意事項＞
2020.7.15 新型コロナウイルス感染拡大防止対策（COVID-19）直近14日間、平熱であり、風邪症状がないユーザーのみ予約を許可します。
装置を利用するイエローエリアは、なるべく1名のみでお願いします。
スピーンコーターがあるイエローエリアは、2名までとします。
研究室内でオペトレを行う場合は、1対1でお互いの距離を2m(最低でも1m）空けてください。
何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
基板サイズが5mm□以下でスピンコーターを使用しないでください。故障の原因になります。
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | LSIプロセス装置 LSI Process Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)パターン投影リソグラフィシステム (ARIM)Maskless Lithography System |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | Heidelberg Instruments (μPG501) Heidelberg Instruments (μPG501) |
仕様・特徴 Specification・Features |
デジタルミラー素子（DMD）を用いることでパターン投影し、クロムマスクブランクスやレジスト塗布基板に最小1um（LSは不可）の回路パターンを超高速で作成できます。 ・光源：LED（波長 390nm） ・最大基板サイズ：5インチ ・対応フォーマット：DXF, GDSⅡ, Gerber, CIFなど ・対応レジスト：i線及びg線用など 【設置年月日】 2014.3.14 The uPG501 is an optical direct-writing lithography system by using 390nm light and a micro-mirror array (DMD). ・LED Illumination Module (390nm) ・Maximum substrate size: 5 inch ・Conversion software for DXF, GDSII, Gerber files and CIF Installation date March 14, 2014 |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 530 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
6,600 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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