機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | シミュレータ Simulator |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)デバイスシミュレーター （ARIM）Device Simulator |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | SILVACO (ATHENA/ATLAS) SILVACO (ATHENA/ATLAS) |
仕様・特徴 Specification・Features |
TCAD構成 シルバコ社製 ATHENAおよびATLAS（フルパッケージ） (1)２次元プロセスシミュレーター (2)２次元シリコン・デバイスシミュレーター (3)２次元先端材料・デバイスシミュレーター (4)３次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター TCAD constitution ATHENA and ATLAS made in SILVACO company (full package) (1) Two-dimensional process simulator (2) Two-dimensional silicon-device simulator (3) Two-dimensional advanced materials and device simulator (4) Three-dimensional advanced materials and device simulator |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 860 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
7,400 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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