機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
＜利用上の注意事項＞
2020.12.25～2021.1.3 年末年始休業予定2020/8/4
8/8 ～ 8/17まで夏季休業 8/18から利用できます。
2020. 6. 24
現在、装置利用可能となっております。
直近14日間、平熱が保たれ風邪症状がない方のみ、入室を許可をします。
実験室では、必ずマスクを着用してください。
入室前後で手洗いと手の消毒をしてください。
何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | 数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） Institute of Pure and Applied Sciences (ARIM) |
| カテゴリー Category | LSIプロセス装置 LSI Process Equipment |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (ARIM)インクジェットパターン生成装置 (ARIM)Inkjet Printer |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | SIJテクノロジ (ST050) SI Technology (ST050) |
仕様・特徴 Specification・Features |
超微量・・高粘度吐出が可能なスーパーインクジェットヘッドにより大気圧、常温において銀、金、たんぱく質、セラミックス、CNTなどで微細な回路パターンを直接描画することができます。 ・最小吐出量：0.1fL ・最小ライン幅：0.6um ・分解能：0.1um ・繰り返し位置精度：±0.2um ・対応フォーマット：DXF 【設置年月日】 2014.2.19 The uPG501 is an optical direct-writing lithography system by using 390nm light and a micro-mirror array (DMD). ・LED Illumination Module (390nm) ・Maximum substrate size: 5 inch ・Conversion software for DXF, GDSII, Gerber files and CIF Installation Date: Feb.19, 2014 |
| 設置場所 Installation site | 共同研究棟C 107室 Cooperative Research Building C 107 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：ARIMスタッフ 所属：数理物質系 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM） |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 1,470 円 / 30分 |
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委託単価
University-wide Job Request Rate |
8,600 円 Yen / 時間 hr. |
| 写真 Picture |
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