機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
|---|---|
| 部署 Affiliation | イノベイティブ計測技術開発研究センター R&D Center for Innovative Material Characterization (IMC) |
| カテゴリー Category | 電子顕微鏡 Electron Microscopes |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (アドバンストSEM)超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000 (Advanced SEM)Ultra-High-Resolution Schottky Scanning Electron Microscope SU7000 |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 日立ハイテクノロジーズ（SU7000） Hitachi High-Technologies （SU7000） |
仕様・特徴 Specification・Features |
本装置（SU7000）は、高性能、高分解能の走査電子顕微鏡である。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系により、広視野全体像から表面微細構造までの多様な信号を迅速に取得し、多チャンネルの信号同時表示/保存が可能である。さらに低真空状態での操作が可能であり、これまで電子顕微鏡観察が難しかった有機物や生体試料なども観察できる。 また、本装置は、組成分析としてEDX、構造解析としてEBSD装置を装備しており、材料の高度な分析が可能である。 本装置を共用にすることで、材料をはじめとした多様な研究に資することが期待される。 SU7000 is a high-performance, high-resolution scanning electron microscope. An electron optics / detection system designed to simultaneously acquire multiple secondary electron signals and backscattered electron signals enables quick acquisition of a wide variety of signals from a wide-field entire image to a fine surface structure, and multi-channel signals, which can be displayed and saved at the same time. Furthermore, it is possible to operate in a low vacuum state, and it is possible to observe organic substances, biological samples, etc., which used to be difficult to observe with an electron microscope. In addition, this equipment is equipped with EDX for composition analysis and EBSD equipment for structure analysis, which enables sophisticated analysis of materials. It is expected that sharing this device will contribute to various researches including material characterization. |
| 設置場所 Installation site | プロジェクト研究棟103 Project and Research Building 103 |
| 備考 Remark | |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：塔村 所属：イノベイティブ計測技術開発研究センター |
|
利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 3,680 円 / 30分 |
| 写真 Picture |
|
