機器（委託対応）の詳細情報
Detailed Information of Equipment(Job Request)
| 機器情報（対応情報） Equipment and Job Request Information | |
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| 部署 Affiliation | イノベイティブ計測技術開発研究センター R&D Center for Innovative Material Characterization (IMC) |
| カテゴリー Category | 電子顕微鏡 Electron Microscopes |
| 機器名（委託内容） Equipment (Job Request) | (アドバンストSEM)集束イオンビーム加工観察装置JIB-4000 (Advanced SEM)JIB-4000 Focused Ion Beam Milling & Imaging System |
| メーカー（型式） Supplier (Equipment type) | 日本電子(JIB-4000) JEOL(JIB-4000) |
仕様・特徴 Specification・Features |
本装置は、Gaイオンビームの照射により、高精度に試料加工を行う装置であり、主にSEMやTEMの試料作製に利用される。 Gaイオンのスパッタリング効果により試料にミクロンサイズの矩形の穴あけ加工(粗加工)を行うことができる。また小さなイオン電流で試料表面の像観察を行うことができるため、異物や欠陥などを抽出してピンポイントな加工を行うことができる。また、この装置を利用して、マイクロ、ナノデバイスの加工も可能である。 イオン源 Ga液体金属イオン源 加速電圧 1－30 kV 倍率 ×60 (視野探し用) ×200～×300,000 像分解能 5nm (30kV時) 最大ビーム電流 60nA (30kV時) 90nA (30kV時)※オプション 可動絞り 12段 (モータ駆動) イオンビーム加工形状 短形、ライン、スポット The JIB-4000PLUS is a focused ion beam milling & imaging system (single-beam FIB system) featuring a high-performance ion optical column. The accelerated Ga (gallium) ion beam is focused onto a specimen to enable SIM image observation of the specimen surface, milling, and deposition of materials like carbon or tungsten. The system also enables preparation of a thin-film specimen for TEM imaging and a cross-section specimen for observing the interior of the specimen. In addition, the JIB-4000PLUS can be equipped with a 3D observation function and an automatic TEM specimen preparation function; thus the system meets a variety of needs for specimen preparations. Ion source Ga liquid metal ion source Accelerating voltage 1 to 30 kV (in 5 steps) Magnification ×60 (for searching a field) ×200 to ×300,000 Image resolution 5nm (at 30 kV) Maximum beam current 60nA (at 30 kV) 90nA (at 30 kV)*Optional Movable aperture 12 steps (motor drive) Processing shapes by milling Rectangle, line and spot |
| 設置場所 Installation site | プロジェクト研究棟104室 Project and Research Building 104 |
| 備考 Remark |
・本装置の利用は、講習を受講された方に限らせて頂きます。（講習を受講される場合は、別途講習料が必要となります。） ・利用日の２ヶ月前から予約できます。 ・窒素ガス以外の消耗品・試薬等は各自でご準備下さい。 ・プロジェクト研究棟を利用するには、入室用ICカードが必要です。 機器をご利用の際は、メールにてご連絡ください。 |
| 主な研究成果 Research Accomplishment | |
| 相談窓口 Inquiry | 利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。 |
| 機器担当者 |
担当者：塔村 所属：イノベイティブ計測技術開発研究センター |
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利用単価
University-wide Shared Use Rate |
単価 A: 2,400 円 / 30分 |
| 写真 Picture |
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